[发明专利]一种磁控溅射Co－Cr－Ta合金靶的制造方法

摘要

本发明属于冶金制备领域，特别涉及一种磁控溅射Co－Cr－Ta合金靶的制造方法。该方法以99.95％的电解钴，99.9％的电解铬，99.9％的钽为原料，经真空熔炼，铸锭、锻造，轧制，热处理(或经真空熔炼，铸锭，轧制，热处理)，然后机加工成成品。合金成分at％范围为：Co 73－88％，Cr 8－25％，Ta 2－6％；在熔炼过程中浇注温度在熔点以上50℃～150℃，锻造温度在1000℃～1200℃，轧制温度为1100℃～ 1300℃，热处理温度为700℃～1000℃，保温4～10小时，然后淬火。本发明与现有技术相比具有成品成分控制精确，分布均匀，成品的纯度高，密度大、磁透率高的优点。

主权项

1.一种磁控溅射Co-Cr-Ta合金靶的制造方法，其特征在于工艺流程为用真空感应熔炼工艺制备Co-Cr-Ta合金，即要通过配料、熔炼、铸锭、锻造、轧制、热处理，然后机加工制成成品，具体步骤如下：A、配料：按配料比例称取电解Co、Cr和Ta金属块。原材料纯度在99.9％以上，合金成分wt％范围为：Co 73-88％，Cr 8-25％，Ta 2-6％；B、熔炼、铸锭：将称好的金属块放入真空感应熔炼炉坩埚中，按通常的冶炼工艺冶炼，精炼时间为9～13分钟，当钢水温度达到液相线以上50～150℃时进行浇铸；C、锻造：将熔炼所得锭坯放在马弗炉中，在1000～1200℃保温1～1.5小时后锻造成规定尺寸的板坯；D、轧制：将上述锻造后的板坯放入轧钢专用的马弗炉中，在1100～1300℃保温1～1.5小时后轧制成规定尺寸的板坯；E、热处理：将轧制好的板坯放入热处理炉中，热处理炉的均温区一定要大于处理产品的长度，在700～1000℃保温4～10小时；然后迅速取出放入冰盐水中进行淬火；F、机加工：将热处理后的Co-Cr-Ta合金板坯按尺寸要求机加工，先线切割成规定尺寸的圆片，再用车床车成符合尺寸精度的Co-Cr-Ta合金靶材。