[发明专利]平整度的检测装置及检测方法有效
| 申请号： | 200710202308.4 | 申请日： | 2007-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN101424519A | 公开（公告）日： | 2009-05-06 |
| 发明（设计）人： | 林大为 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16;G01B11/02;G01B11/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种平整度的检测方法，包括：将待测物体置于承载装置的承载台，且使待测物体的中心轴线与承载台的中心轴线位于同一直线；旋转承载台，使承载台带动待测物体绕承载台的中心轴线转动，选取参照点，连续测量待测物体的检测面上的多个测量点相对参照点的高度值，并记录承载台的旋转角度；分析各测量点的高度值，得出待测物体的平整度。本发明还提供了一种平整度的检测装置，其克服了现有物体表面平整度的检测装置不能对收容于收容件的待测物体取像的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 平整 检测 装置 方法 | ||
【主权项】：
【权利要求1】一种平整度的检测装置，其包括：承载装置，其包括承载台和与承载台相连的驱动器，所述承载台用于承载待测物体，所述驱动器用以驱动承载台绕其中心轴线转动；控制器，其与承载装置相连，用以控制驱动器驱动承载台转动及分析待测物体的平整度；及非接触式测高装置，其设于承载装置上方，与承载台相对，并与控制器相连，用于连续记录待测物体的检测面上的多个测量点相对参照点的高度值，并将所测量的高度值传输给控制器。
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