[发明专利]溅镀式镀膜装置及方法有效
| 申请号： | 200710200174.2 | 申请日： | 2007-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN101240411A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | 颜士杰 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种溅镀式镀膜装置，其包括本体，转盘，若干个承载件，驱动装置，第一靶电极及第二靶电极。该转盘置于本体内，该若干个承载件设置于转盘上用于承载待镀工件。该驱动装置用于驱动该承载件转动一定角度。第一靶电极和第二靶电极相对设置在本体上交替的在待镀工件的某一待镀表面进行镀膜。本发明还涉及一种使用上述溅镀式镀膜装置进行镀膜的方法。所述溅镀式镀膜装置和方法可在一次制程中完成对待镀工件进行双面镀膜，进而可大大降低生产成本及提升生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀式 镀膜 装置 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种溅镀式镀膜装置，其包括：本体，所述本体形成有工作室；收容于本体内的若干个承载件；第一靶电极及第二靶电极，所述第一靶电极和第二靶电极相对的设置在所述本体的工作室内，分别用以装载第一靶材及第二靶材；其特征在于，所述溅镀式镀膜装置进一步包括：转盘，所述转盘设置在所述工作室内，所述若干个承载件垂直设置于所述转盘上，所述每个承载件设置有至少一个容置通孔，用以收容待镀工件并暴露所述待镀工件的两相对的待镀表面；以及驱动装置，所述驱动装置用于驱动所述每个承载件沿垂直于所述容置通孔的开口方向的轴线转动，以使装载在所述第一靶电极与第二靶电极上的第一靶材与第二靶材交替地对所述待镀工件的待镀表面进行镀膜。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司，未经鸿富锦精密工业（深圳）有限公司;鸿海精密工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710200174.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种实木弯曲机
- 下一篇：一种检测少儿药物性耳聋遗传风险的试剂盒
- 同类专利
- 专利分类
