[发明专利]流体喷射装置有效
| 申请号： | 200710194735.2 | 申请日： | 2007-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN101216672A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 孙贤镐;金喆植 | 申请（专利权）人： | 显示器生产服务株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B05B3/14;B05B13/04;B05B15/08;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京金信立方知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄威;徐金伟 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在进行平板显示面板用基板的制造工序中的蚀刻或剥离作业时，可向基板均匀供给蚀刻用流体或剥离用流体的流体喷射装置。这种流体喷射装置包括：具有作业空间的作业槽；用于喷射流体的喷嘴；相隔配置在所述作业空间的多个喷射管；与所述喷射管相连接且通过连杆运动使所述喷嘴的喷射角度发生变化的动力传递机构；以及为使所述动力传递机构进行连杆运动而产生动力的驱动源。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 喷射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种流体喷射装置，其特征在于，包括：具有作业空间的作业槽；具有用于喷射流体的多个喷嘴且相互隔开设置在所述作业空间的多个喷射管；与所述喷射管相连接，并通过连杆运动使所述喷嘴的喷射姿势发生变化的动力传递机构；为使所述动力传递机构做连杆运动而产生动力的驱动源。
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