[发明专利]一种电池用绝缘薄膜材料的制备方法

摘要

本发明公开了一种电池用绝缘薄膜材料的制备方法，属于电池生产技术领域。电池用绝缘薄膜材料的具体制备方案为：(1)基体抛光，(2)基体清洗，(3)溅射法镀膜；绝缘薄膜材料包括Al₂O₃、AlN、SiO₂、GaN。本发明是为了提高电池组在组装和使用过程中的安全性和可靠性，提供了多种电池用绝缘薄膜材料，采用溅射法对电池外壳进行镀覆绝缘薄膜的表面修饰，镀覆在电池表面的薄膜具有高电阻率，完全满足绝缘的要求，经过表面修饰的电池在电池组的组装和使用过程中，可以避免短路等危险现象的发生。

主权项

1.电池用绝缘薄膜材料，具体方案为：(1)基体抛光，(2)基体清洗，(3)溅射法镀膜；其特征在于：第三步的溅射法镀膜中，反应气体为纯度99％以上的气体，根据薄膜材料的不同而采用不同的反应气，工作气压保持在2Pa以下，基体温度为20℃～500℃，靶和基片间距为2cm以上，射频功率为40W～200W，溅射时间为5～100分钟；溅射前将溅射室气压抽至低于6.0×10-5Pa，并通入氩气预溅射5分钟以上清洗靶面。