[发明专利]一种气路控制方法和装置有效
| 申请号： | 200710176552.8 | 申请日： | 2007-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN101424947A | 公开（公告）日： | 2009-05-06 |
| 发明（设计）人： | 付金生 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 100016北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种气路控制方法和装置，所述方法包括：当执行开启气路操作时，针对该气路的前阀、后阀以及质量流量控制器执行以下操作：通知开启后阀；设定质量流量控制器的流量；通知开启前阀；当执行关闭气路操作时，针对该气路的前阀、后阀以及质量流量控制器执行以下操作：设定质量流量控制器的流量为0；延时预置的第一时间后通知关闭后阀，所述第一时间与后阀内部延时时间之和小于质量流量控制器的内部延时时间；延时预置第二时间后通知关闭前阀，所述第二时间与前阀内部延时时间之和大于质量流量控制器的内部延时时间。本发明可以有效避免存在压力差的条件时的MFC的输出震荡问题，减弱通气不稳的首片效应，达到较好的控制效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种开启和关闭气路的控制方法，其特征在于，包括：当执行开启气路操作时，针对该气路的前阀、后阀以及质量流量控制器执行以下操作：通知开启后阀；设定质量流量控制器的流量；通知开启前阀；当执行关闭气路操作时，针对该气路的前阀、后阀以及质量流量控制器执行以下操作：设定质量流量控制器的流量为0；延时预置的第一时间后通知关闭后阀，所述第一时间与后阀内部延时时间之和小于质量流量控制器的内部延时时间；延时预置第二时间后通知关闭前阀，所述第二时间与前阀内部延时时间之和大于质量流量控制器的内部延时时间。
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