[发明专利]等离子处理装置无效
| 申请号： | 200710168160.7 | 申请日： | 2005-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN101203087A | 公开（公告）日： | 2008-06-18 |
| 发明（设计）人： | 申寅澈;张圣基;金兑昱;柳炅昊;郑修然 | 申请（专利权）人： | K.C.科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种等离子处理装置，其特征在于，包括流入工序气体的气体流入部、和将流入的工序气体利用一对电极板进行放电而对基板进行等离子处理的等离子源，所述一对电极板是组装了多个单位电极单元的一对单元型电极板。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子处理装置，其特征在于，包括流入工序气体的气体流入部、和将流入的工序气体利用一对电极板进行放电而对基板进行等离子处理的等离子源，所述一对电极板是组装了多个单位电极单元的一对单元型电极板。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于K.C.科技股份有限公司，未经K.C.科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710168160.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
