[发明专利]三维形状测定装置

摘要

提供一种三维形状测定装置，通过上下共用形成XYZ坐标的XYZ参照镜(2、3、4)和Z气动滑动导轨部(11)，从而使上下的测定坐标系完全相同。并且，使用衍射光栅(8)将触针(5)的变位检测单元变薄，通过使用滑轮(18)和恒载弹簧(17)使探头的支承部分进一步变薄，使构造简单，实现小型化，制造容易。

主权项

1.一种三维形状测定装置，其具有：第一单元(A)，其在互相正交的XYZ坐标系中，对以XY方向为平面的Z参照镜(2)、以YZ方向为平面的X参照镜(3)、以XZ方向为平面的Y参照镜(4)、和保持测定物(1)的测定物保持部件(98)至少这四个部件的位置关系进行固定；第二单元(B)，其至少具有：内置第一触针(5f)的第一测定探头(10f)、内置与所述第一触针隔着所述测定物相互相对配置的第二触针(5b)的第二测定探头(10b)、一体地固定在所述第一触针上的Zf镜部(9f)、一体地固定在所述第二触针上的Zb镜部(9b)、和能够在Z方向上分别分别独立地移动所述两个测定探头的测定探头移动装置(93)；XY方向移动装置(99)，其使所述第一单元、或所述第二单元相对移动；在所述第二单元上配置的XYZ坐标测定用激光发生装置(38)；X坐标测定装置(27)，将从所述激光发生装置发出的激光照射到所述X参照镜上，根据由所述X参照镜反射的反射光，测定所述第一单元的X坐标；Y坐标测定装置(36)，将从所述激光发生装置发出的激光照射到所述Y参照镜上，根据由所述Y参照镜反射的反射光，测定所述第一单元的Y坐标；Z1坐标测定装置(35)，将从所述激光发生装置发出的激光照射到所述Z参照镜上，根据由所述Z参照镜反射的反射光，测定所述XY方向移动装置的移动中在Z方向上的变位即所述第一单元的Z1坐标；Z2坐标测定装置(28)，将从所述激光发生装置发出的激光照射到所述Zf反光镜部，根据由所述Zf反光镜部反射的反射光，测定所述第一触针相对于所述第二单元在Z方向上的变位即Z2坐标；Z3坐标测定装置(37)，将从所述激光发生装置发出的激光照射到所述Zb反光镜部，根据由所述Zb反光镜部反射的反射光，测定所述第二触针相对于所述第二单元的在Z方向上的变位即Z3坐标；前后面Z坐标运算装置(94)，其求出与所述第一触针相对的所述测定物的前面的Z坐标即Zf＝Z2+Z1，和与所述第二触针相对的所述测定物的后面的Z坐标即Zb＝Z3+Z1。