[发明专利]功能元件、半导体器件和电子机器无效
| 申请号： | 200710149027.7 | 申请日： | 2007-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN101139078A | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 御手洗俊;多田正裕 | 申请（专利权）人： | 索尼株式会社 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 马高平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种通过使成膜时的影响不波及到功能部而能提高元件可靠性的功能元件。基板(10)的表面上具备可动部(11)、密封层(12)和壁部(13)。密封层(12)具有在可动部(11)周围形成内部空间(14)的拱顶状形状，在密封层(12)中与可动部(11)相对区域以外的区域设置开口部(15)。壁部(13)形成在可动部(11)与开口部(15)之间而不把内部空间(14)分离，在内部空间(14)内形成有贯通开口部(15)且由不贯通密封层(12)和壁部(13)的直线不横穿的空间(阴影空间(19))。可动部(11)被配置在该阴影空间(19)内。 | ||
| 搜索关键词： | 功能 元件 半导体器件 电子 机器 | ||
【主权项】：
1.一种功能元件，其特征在于，包括：基板、在所述基板表面上形成的一个或多个功能部、在所述功能部的周围形成空间且具有通过埋入材料进行密封的一个或多个开口部的密封层、使所述空间不分离地在所述功能部与所述开口部之间形成的一个或多个壁部。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于索尼株式会社，未经索尼株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710149027.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
