[发明专利]重氮萘醌系翻转成像感光组合物无效
| 申请号： | 200710146587.7 | 申请日： | 2007-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN101373330A | 公开（公告）日： | 2009-02-25 |
| 发明（设计）人： | 余尚先;丛培军;王大伟;顾江楠;杨金瑞 | 申请（专利权）人： | 威海经济技术开发区天成化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/016 | 分类号： | G03F7/016;G03F7/004 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 刘金辉 |
| 地址： | 264205山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种新型重氮萘醌系正、负像可翻转的感光组合物体系，其组成为：a.占感光组合物总质量5～30％的至少包含2，1，4－重氮萘醌磺酸酯类化合物的光活性化合物；b.占感光组合物总质量5～20％的多甲氧甲基三聚氰胺交联剂；c.占感光组合物总质量60～85％的成膜树脂；d.占感光组合物总质量0.1～2.0％的着色背景染料；e.占感光组合物总质量2.0％以下的添加剂。本发明感光组合物所涂制的膜层用近紫外光源通过掩模密着曝光或步进投影曝光或激光扫描曝光之后，直接置于碱显影液中显影得到正像；曝光后在120～130℃预烘烤1分钟，再进行全面曝光，然后置于碱显影液中显影，得到负像，实现了正、负像的翻转。所形成的负像具有感度高，分辨率高，耐磨性、抗热性及抗蚀性强等一系列优点。 | ||
| 搜索关键词： | 重氮萘醌系 翻转 成像 感光 组合 | ||
【主权项】：
1.一种重氮萘醌系翻转成像感光组合物，包含如下组分：a)5～30％的至少包含2，1，4-重氮萘醌磺酸酯类化合物的光活性化合物；b)5～20％的多甲氧甲基三聚氰胺交联剂；c)60～85％的成膜树脂；d)0.1～2.0％的着色背景染料；和e)2.0％以下的添加剂，所有百分数基于所述感光组合物的总质量且其总和为100％。
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