[发明专利]湿蚀刻溶液有效
| 申请号： | 200710142032.5 | 申请日： | 2007-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN101131546A | 公开（公告）日： | 2008-02-27 |
| 发明（设计）人： | 罗贞仁;朴明国;梁浩锡 | 申请（专利权）人： | 第一毛织株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32;G03F7/30;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 顾晋伟;刘晓东 |
| 地址： | 韩国庆尚*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种湿蚀刻溶液，包括氟化氢、无机酸、非离子型表面活性剂和水，其中所述氟化氢的量为所述蚀刻溶液重量的约0.1％～约3％，所述无机酸的量为所述蚀刻溶液重量的约10％～约40％并且所述无机酸是硝酸、硫酸和/或盐酸中的一种或多种，所述非离子型表面活性剂的量为所述蚀刻溶液重量的约0.0001％～约5％并且所述非离子型表面活性剂包括烷基酚聚氧乙烯醚和/或十二烷基硫酸铵中的一种或多种。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 溶液 | ||
【主权项】：
1.一种湿蚀刻溶液，包含：氟化氢，所述氟化氢的量为所述蚀刻溶液重量的约0.1％～约3％；无机酸，所述无机酸的量为所述蚀刻溶液重量的约10％～约40％，并且所述无机酸是硝酸、硫酸和/或盐酸中的一种或多种；非离子型表面活性剂，所述非离子型表面活性剂的量为所述蚀刻溶液重量的约0.0001％～约5％，并且所述非离子型表面活性剂包括烷基酚聚氧乙烯醚和/或十二烷基硫酸铵中的一种或多种；和水。
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