[发明专利]热式流量传感器有效

专利信息
申请号: 200710137064.6 申请日: 2007-07-19
公开(公告)号: CN101109653A 公开(公告)日: 2008-01-23
发明(设计)人: 中野洋;山田雅通;松本昌大;渡边泉 申请(专利权)人: 株式会社日立制作所
主分类号: G01F1/69 分类号: G01F1/69
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 代理人: 李贵亮
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供一种热式流量传感器,其降低灰尘向传感器元件的冲击,并且降低由传感器元件周围的被测定流体的流动的剥离导致的测定误差。该热式流量传感器具备:沿在主通路内流动的流体的流动方向设置的基座部;和安装在该基座部上、在基板上形成有用于检测在主通路流动的流体的流量的发热电阻体的传感器元件,其中,在基座部形成矩形的凹部,且传感器元件以其检测部表面低于凹部的上端缘的方式嵌入并固定在该凹部内,并且在传感器元件对面的测定用通路壁部分设置节流部,且发热电阻体从凹部的上游侧端缘沿流动方向,被隔离在不受因在凹部的上端缘与传感器元件的检测部表面之间形成的阶梯差导致生成的流体的流动紊乱的影响的位置。
搜索关键词: 流量传感器
【主权项】:
1.一种热式流量传感器,其具备:沿流体的流动方向设置的基座部;和传感器元件,其安装于该基座部,并在基板上形成有发热电阻体,所述发热电阻体用于检测在所述主通路流动的流体的流量,该热式流量传感器的特征在于,在所述基座部形成矩形的凹部,且所述传感器元件以其检测部表面低于所述凹部的上端缘的方式被嵌入固定安装在该凹部内,而且,在所述传感器元件对面的测定用通路壁部分设置节流部,且所述发热电阻体从所述凹部的上游侧端缘沿流动方向,被隔离在不受因在所述凹部的上端缘与所述传感器元件的检测部表面之间形成的阶梯差引起产生的流体的流动紊乱的影响的位置。
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