[发明专利]可调谐铁电滤波器

摘要

本发明对具有铁电电容器的可调谐带通滤波器中的损耗进行量化并设法使之减小。在给定所需的插入损耗和谐振器的品质因子后，考虑由铁电电容器特定拓扑结构引致的几何损耗以及金属损耗，从而定量出可接受的铁电损耗。

主权项

1.一种可调谐电磁信号滤波器，包括谐振器和置于衬底(12)上的可调谐间隙电容器(10)，其中，所述可调谐间隙电容器包括：沉积在所述衬底上的铁电膜(16)，所述铁电膜具有由第一膜边缘和第二膜边缘限定的膜宽；第一金属导体层(18)，其具有形成在所述铁电膜上的第一端部和形成在所述衬底上的第一导体部分，所述第一金属导体层的所述第一端部具有导体宽度W；第二金属导体层(18)，其具有形成在所述铁电膜上的第二端部和形成在所述衬底上的第二导体部分，所述第二金属导体层的所述第二端部具有导体宽度W；以及间隙(10)，位于所述第一金属导体层的所述第一端部和所述第二金属导体层的所述第二端部之间，并具有间隙宽度；其中使所述膜宽达到最小，以使所述第一膜边缘和所述第二膜边缘邻近于所述间隙，所述第一膜宽允许对所述可调谐间隙电容器进行调谐，并使来自铁电膜的损耗达到最小；以及其中，所述可调谐间隙电容器在约2GHz的频率处具有至少为160的Q值。