[发明专利]芳香二酸酯缩醛聚合物、其合成方法及其用途

摘要

本发明涉及各种芳香二酸酯缩醛聚合物及其合成方法。各种芳香二酸和各种二乙烯基醚化合物在有机溶剂存在下加热反应得到新型的酯缩醛聚合物。此类聚合物易发生酸致分解反应，因此，由此类缩醛聚合物和光产酸剂等一起可组成新型正性感光成像材料，可用于超大规模集成电路加工用光致抗蚀剂(又称光刻胶)以及印刷PS版或CTP版材的成像材料。

主权项

1.如下通式(I)所示的芳香二酸酯缩醛聚合物：R₁为如下基团：等，其中R₃-R₆各自独立地为H或C_NH_2N+1，其中N≤4；以及R₇为C_NH_2N+1或C₆H₅，其中N≤4。此时，m＝1，R₀为：——CH₂CH₂O——，其中氧与R₁相连。R₁也包括不含芳基的基团，如：，此时，m＝1，R₀为：-CH₂-或无基团；再如：-CH₂-，此时，m≤4，R₀为：-CH₂-；又如：-O-，此时，m＝1，R₀为：-CH₂CH₂-。R₂为如下的各种芳基：其中R₈-R₁₁各自独立地为H或C_NH_2N+1或OC_NH_2N+1，其中N≤4，或别的取代基如：F、Cl、NO₂、CN等。