[发明专利]非接触型单面探针结构有效
| 申请号： | 200710130586.3 | 申请日： | 2007-07-18 |
| 公开（公告）号： | CN101109770A | 公开（公告）日： | 2008-01-23 |
| 发明（设计）人： | 殷琸;金圣振 | 申请（专利权）人： | 微探测株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/07 | 分类号： | G01R1/07 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周建秋;王凤桐 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 一种非接触型单面探针结构，在该结构中重复堆叠了多重绝缘薄膜和多重导电薄膜，该结构包括形成于该结构横截面的内导电薄膜部分上的探针电极，以及形成于环绕该探针电极的外导电薄膜部分的防护部分。因此，该结构能够形成具有导电薄膜厚度的探针电极，所述导电薄膜厚度与模式电极的管脚间距一致，从而能够在微型化的模式电极中探测到断路和短路。用作探针的横截面与接触孔相距特定的距离或者更远的距离，从而对噪音具有高的电阻。 | ||
| 搜索关键词： | 接触 单面 探针 结构 | ||
【主权项】：
1.一种非接触型单面探针结构，该结构包括：探针电极，该探针电极形成于重复堆叠了多重绝缘薄膜和多重导电薄膜的横截面的内导电薄膜部分；防护部分，该防护部分形成于所述横截面的外导电薄膜部分，所述外导电薄膜部分环绕所述探针电极；以及接触孔，该接触孔用于与所述探针电极和所述防护部分连接。
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