[发明专利]类神经网络晶圆分析系统与方法无效
| 申请号： | 200710129100.4 | 申请日： | 2007-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN101344787A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 蔡明钦 | 申请（专利权）人： | 京元电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B21/02 | 分类号： | G05B21/02;G05B13/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陈肖梅;谢丽娜 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种利用类神经网络来分析晶圆的系统与方法，该方法包含下列步骤；首先，提供一测试单元进行晶圆测试，以产生多个测试数据。然后，提供该多个测试数据至一处理单元，该处理单元将该多个测试数据转换成一输出值。接着，比对该输出值改变其偏权值使该输出值接近预期并重复上述步骤以训练此系统。最后，以训练完的系统分析晶圆。如此的分析判断方式完全由系统取代人工操作与判断分析，不但可节省时间，并降低人力成本与人工判断错误的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 神经网络 分析 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种晶圆分析系统，其特征在于，包含：一处理单元，用以接收由一测试单元所提供的测试数据；以及一类神经网络学习及比对单元，连结于该处理单元，可接受该处理单元的指令以进行运算，并将运算后的结果与该处理单元于一数据库单元所撷取的数据进行比对，以进行学习使系统分析的结果趋近人工分析的结果；由此，节省人工分析的时间。
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