[发明专利]去除边缘光刻胶装置有效
| 申请号： | 200710120730.5 | 申请日： | 2007-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN101373341A | 公开（公告）日： | 2009-02-25 |
| 发明（设计）人： | 宋瑞涛;陈祥麟;张学智;郑铁元;王晏酩;张荣军;苏九端 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人： | 刘芳 |
| 地址： | 100176北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种去除边缘光刻胶装置，包括装置主体，所述装置主体内设置有通过负压抽吸玻璃基板边缘残液的排管，所述装置主体上连接有从玻璃基板上方和下方以倾斜方向玻璃基板端部喷射化学药液的上喷针和下喷针。本发明通过改变化学药液的进入管道、喷射方向和设置具有负压力的排管，避免了现有装置使用中出现的气液干涉，减少了化学药液溅射到玻璃基板上形成不良的几率，同时节约氮气，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 去除 边缘 光刻 装置 | ||
【主权项】：
1.一种去除边缘光刻胶装置，包括装置主体，其特征在于，所述装置主体内设置有通过负压抽吸玻璃基板边缘残液的排管，所述装置主体上连接有从玻璃基板上方和下方以倾斜方向玻璃基板端部喷射化学药液的上喷针和下喷针。
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