[发明专利]能够消除系统自身杂散光的哈特曼波前传感器无效
| 申请号： | 200710118053.3 | 申请日： | 2007-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN101078636A | 公开（公告）日： | 2007-11-28 |
| 发明（设计）人： | 饶学军;李华强;王成;饶长辉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26;G02B27/28 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 | 代理人： | 贾玉忠;卢纪 |
| 地址： | 61020*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种能够消除系统自身杂散光的哈特曼波前传感器，包括：测量光源系统、光束匹配系统、微透镜阵列和CCD，在测量光源系统的出光口前面放置起偏器；在光束匹配系统和被测件之间放置1/4波片；在微透镜阵列前面放置检偏器，并且检偏器的检偏方向和起偏器的起偏方向相互垂直，测量光源系统出射的光经起偏器后便会成为线偏振光，线偏振光经光束匹配系统后，经1/4波片后成为圆偏振光，再经被测物后返回系统，经1/4波片后圆偏振光便成为线偏振光，此时的偏振方向和由起偏器出射时的偏振方向相互垂直，经光束匹配系统后，经检偏器后，进入微透镜阵列进行测量。本发明减小了由于杂散光引起的质心运算误差，提高了测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 能够 消除 系统 自身 散光 哈特曼波前 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种能够消除系统自身杂散光的哈特曼波前传感器，包括：测量光源系统、光束匹配系统、微透镜阵列和CCD，其特征在于：在测量光源系统的出光口前面放置起偏器；在光束匹配系统和被测件之间放置![]()
波片；在微透镜阵列前面放置检偏器，并且检偏器的检偏方向和起偏器的起偏方向相互垂直，测量光源系统出射的光经起偏器后便会成为线偏振光，线偏振光经光束匹配系统后，经![]()
波片后成为圆偏振光，再经被测物后返回系统，经![]()
波片后圆偏振光便成为线偏振光，此时的偏振方向和由起偏器出射时的偏振方向相互垂直，经光束匹配系统后，经检偏器后，进入微透镜阵列进行测量。
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