[发明专利]光刻设备与器件制造方法无效
| 申请号： | 200710109896.7 | 申请日： | 2007-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN101086628A | 公开（公告）日： | 2007-12-12 |
| 发明（设计）人： | S·B·C·M·马滕斯;R·H·G·克拉默 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 王波波 |
| 地址： | 荷兰费*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | 本发明涉及组装物体的方法，该方法包括如下步骤：提供具有第一表面的第一物体部分；提供具有第二表面的第二物体部分；定位第一物体部分和第二物体部分以使第一表面和第二表面彼此面对，并限定所述第一表面和所述第二表面之间的间隙；将粘接剂涂敷于间隙的至少一部分上；使第一物体部分和第二物体部分在一段时间内保持一定距离，通过毛细管作用和/或重力而使间隙基本被填满粘接剂；以及，使第一物体部分和第二物体部分彼此相对移动，以减小第一表面和第二表面之间的距离。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 设备 器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种组装物体的方法，包括如下步骤：提供具有第一表面的第一物体部分；提供具有第二表面的第二物体部分；将所述第一物体部分和所述第二物体部分定位，以使所述第一表面和所述第二表面彼此面对，其中，在所述第一表面和所述第二表面之间限定间隙；将粘接剂施加于所述间隙的至少一部分上，使所述第一物体部分和所述第二物体部分在一段时间内保持一定距离，其中，由于毛细管作用和/或重力而使所述间隙基本填满所述粘接剂；以及使所述第一物体部分和所述第二物体部分彼此相对移动，以减少所述第一表面和所述第二表面之间的距离。
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