[发明专利]烘干装置无效
| 申请号： | 200710107382.8 | 申请日： | 2007-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN101082463A | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | 金相吉 | 申请（专利权）人： | 株式会社细美事 |
| 主分类号： | F26B3/00 | 分类号： | F26B3/00;F26B25/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高翔 |
| 地址： | 韩国忠清南*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了一种改善工艺效率的烘干装置。该烘干装置包括基板加热部、基板冷却部及把基板从基板加热部及/或基板冷却部投入并回收的第一基板搬运机器，其中基板加热部、第一基板搬运机器及基板冷却部按L字形设置。 | ||
| 搜索关键词： | 烘干 装置 | ||
【主权项】：
1.一种烘干装置，该装置包括：基板加热部；基板冷却部；和把基板投入到上述基板加热部及/或上述基板冷却部并回收的第一基板搬运机器；其中，上述基板加热部、上述第一基板搬运机器及上述基板冷却部按L字形设置。
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