[发明专利]低温等离子体处理装置无效

专利信息
申请号: 200710104272.6 申请日: 2007-05-23
公开(公告)号: CN101077629A 公开(公告)日: 2007-11-28
发明(设计)人: 星田繁宏;铃木真二;天野正 申请(专利权)人: 信越化学工业株式会社
主分类号: B29C71/04 分类号: B29C71/04
代理公司: 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人: 朱德强
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 用于连续长度塑料薄膜低温等离子体处理的装置,该装置能够使用低温等离子体进行薄膜的表面改性处理加工,而且保持尺寸稳定性,不会引起对薄膜的损伤。用于进行薄膜表面改性处理的装置包括第一真空室,配备有将成卷塑料薄膜解卷的解卷单元;第二真空室,在其中解卷的塑料薄膜在其表面上经受低温等离子体处理;以及第三真空室,配备有将等离子体处理的塑料薄膜缠绕成卷材的缠绕单元,这些真空室沿着处理时塑料薄膜的运行方向串联到一起。
搜索关键词: 低温 等离子体 处理 装置
【主权项】:
1.用于塑料薄膜表面的低温等离子体处理的装置,包括:(1)第一真空室,配备有将成卷塑料薄膜解卷的解卷单元;(2)第二真空室,在其中已被解卷的塑料薄膜在表面上经受低温等离子体处理;以及(3)第三真空室,配备有将等离子体处理过的塑料薄膜缠绕成卷材的缠绕单元,真空室(1)至(3)沿着处理时塑料薄膜的运行方向串联连接到一起。
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