[发明专利]激光加工方法及加工装置无效
申请号: | 200710101117.9 | 申请日: | 2003-08-29 |
公开(公告)号: | CN101041205A | 公开(公告)日: | 2007-09-26 |
发明(设计)人: | 浜田史郎;山本次郎;山口友之 | 申请(专利权)人: | 住友重机械工业株式会社 |
主分类号: | B23K26/06 | 分类号: | B23K26/06;B23K26/08;B23K26/04;G02B27/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 陈英俊 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 提供一种激光加工方法及加工装置。本发明的激光加工方法,其特征在于,包括以下工序:工序(e),激光束由透镜聚光后入射到加工对象物的表面上;工序(f),当激光束对上述加工对象物的入射位置移动时,一边移动上述透镜、一边在上述加工对象物的表面内移动激光束的入射位置,来抑制上述加工对象物表面的激光束的脉冲能量密度或功率密度的、由入射位置的移动引起的变动。 | ||
搜索关键词: | 激光 加工 方法 装置 | ||
【主权项】:
1.一种激光加工方法,其特征在于,包括以下工序:工序(e),激光束由透镜聚光后入射到加工对象物的表面上;工序(f),当激光束对上述加工对象物的入射位置移动时,一边移动上述透镜、一边在上述加工对象物的表面内移动激光束的入射位置,来抑制上述加工对象物表面的激光束的脉冲能量密度或功率密度的、由入射位置的移动引起的变动。
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