[发明专利]基板检测装置无效
| 申请号： | 200710098227.4 | 申请日： | 2007-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN101285783A | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 郑益骐;王政宏;周美惠;林煜斌;苏振平 | 申请（专利权）人： | 华泰电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01R31/302;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周建秋;王凤桐 |
| 地址： | 中国台湾高雄*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板检测装置，待检测的基板放置于支撑件上，并通过调整位于基板下方的反射镜的反射角度，使基板底面的缺陷能通过反射镜的反射被检测员看见，从而避免了因翻转基板而导致尚未固着于基板正面的芯片偏移。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板检测装置，包括：底座；两个支撑件，所述两个支撑件由该底座向上延伸并相对设置，并且界定出观测开口及检测开口，当待检测的基板放置于所述两个支撑件之间时，该基板位于该检测开口中；及反射镜，所述反射镜设置于所述两个支撑件之间，并可绕旋转轴旋转，以将该检测开口中的基板影像反射至该观测开口。
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