[发明专利]测试结构版图的形成方法及系统、测试结构的形成方法有效
| 申请号： | 200710094556.1 | 申请日： | 2007-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN101458723A | 公开（公告）日： | 2009-06-17 |
| 发明（设计）人： | 陆黎明;龚斌;胡轶强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李 丽 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 测试结构版图的形成方法，包括：形成至少两个虚拟引线焊垫图案；形成包含所述虚拟引线焊垫图案的虚框图案；在所述虚框图案的虚拟引线焊垫图案之间形成单个测试结构图案，并将所述单个测试结构图案与虚拟引线焊垫图案通过互连线图案连接，形成包含虚框、虚拟引线焊垫图案和单个测试结构图案的标准单元图案；形成引线焊垫图案；形成包含所述引线焊垫图案的框架图案；将所述标准单元图案插入到所述框架图案中，并使所述标准单元图案中的虚拟引线焊垫图案与框架图案中的引线焊垫图案对准，形成测试结构版图。本发明还提供一种形成测试结构版图的系统、测试结构的形成方法及版图的形成方法。本发明可提高形成版图的效率，节省时间，降低出错几率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 结构 版图 形成 方法 系统 | ||
【主权项】：
1、一种测试结构版图的形成方法，其特征在于，包括：形成至少两个虚拟引线焊垫图案，并将所述的虚拟引线焊垫图案按照引线焊垫图案布局排列，该虚拟引线焊垫图案的尺寸与实际的引线焊垫图案相同；形成框起至少两个所述虚拟引线焊垫图案的虚框图案，所述虚框图案用于划分单个测试结构图案的区域；在所述虚框图案的虚拟引线焊垫图案之间形成单个测试结构图案，并将所述单个测试结构图案与虚拟引线焊垫图案通过互连线图案连接，形成包含虚框、虚拟引线焊垫图案和单个测试结构图案的标准单元图案；形成引线焊垫图案；形成包含所述引线焊垫图案的框架图案，用于划分测试结构版图的区域；将所述标准单元图案插入到所述框架图案中，并使所述标准单元图案中的虚拟引线焊垫图案与框架图案中的引线焊垫图案对准，形成测试结构版图。
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