[发明专利]显影液组成物无效
申请号: | 200710090196.8 | 申请日: | 2007-04-16 |
公开(公告)号: | CN101290480A | 公开(公告)日: | 2008-10-22 |
发明(设计)人: | 刘大铭;李晏成;陈俊廷 | 申请(专利权)人: | 明德国际仓储贸易(上海)有限公司 |
主分类号: | G03F7/32 | 分类号: | G03F7/32 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 周长兴 |
地址: | 200131上海市外高*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种显影液组成物,其包括:(a)0.1~20份重量的碱性化合物;(b)0.1~20份重量的非离子性界面活性剂;(c)0.1~10份重量的如下式(I)结构的单羧酸化合物:RCOOR′式(I),其中,R为含碳数5~12的脂肪族或芳香族,R′为氢、碱金属或碱土金属阳离子;以及(d)其余份重量的水。上述的份重量,系以100份重量的该显影液组成物为基准计算。 | ||
搜索关键词: | 显影液 组成 | ||
【主权项】:
1、一种显影液组成物,其包括:(a)0.1~20份重量的碱性化合物,该碱性化合物的份重量,是以100份重量的该显影液组成物为基准计算;(b)0.1~20份重量的非离子性界面活性剂,该非离子性界面活性剂的份重量,是以100份重量的该显影液组成物为基准计算;(c)0.1~10份重量的如下式(I)结构的单羧酸化合物:RCOOR′式(I)其中,R为含碳数5~12的脂肪族或芳香族,R′为氢、碱金属或碱土金属阳离子;该式(I)的单羧酸化合物的份重量,是以100份重量的该显影液组成物为基准计算;以及(d)其余份重量的水,该水的份重量是以100份重量的该显影液组成物为基准计算。
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