[发明专利]压电晶体振荡元件的电极及其应用与制造方法有效
| 申请号： | 200710088065.6 | 申请日： | 2007-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN101060319A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 林启文;赵岷江;罗中仑;沈俊男 | 申请（专利权）人： | 台晶（宁波）电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/125;H03H3/02 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 | 代理人： | 王江成 |
| 地址： | 315800浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电极及其应用与制造方法，尤其是涉及一种用于压电晶体振荡元件的电极、采用该电极的压电晶体振荡元件及各自的制造方法。压电晶体振荡元件包括基底及电极，所述的电极位于基底之上，电极具有一晶片，所述的晶片上形成至少二层薄膜，第二薄膜的主要成分由含重量百分率占1～40wt.％金原子的合金所组成。第一薄膜与第二薄膜形成的方法为蒸镀或溅镀。本发明的压电晶体振荡元件可具有较优异的热稳定性，使得压电晶体振荡元件在组装生产过程中即使历经150～350℃的热制程后，仍可保持良好的电性表现与频率控制。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 晶体 振荡 元件 电极 及其 应用 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压电晶体振荡元件的电极，包括第一薄膜及第二薄膜，第二薄膜形成于第一薄膜之上，其特征在于：所述的第二薄膜的主要成分由含重量百分率介于1～40wt.％金原子之合金所组成。
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