[发明专利]用来与外涂的光刻胶一起使用的涂料组合物有效
| 申请号： | 200710084492.7 | 申请日： | 2007-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN101030037A | 公开（公告）日： | 2007-09-05 |
| 发明（设计）人： | A·赞皮尼;G·B·韦顿 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/16;C09D201/08 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 沙永生 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了有机涂料组合物，该组合物包括减反射涂料组合物，该减反射涂料组合物能够减少从基片反射回外涂的光刻胶层的曝光辐射和/或作为平面化层或通路填充层。本发明优选的有机涂料组合物包含一种或多种树脂，这些树脂能够在进行热处理时发生硬化，且不会产生裂解产物。本发明特别优选的有机涂料组合物包含一种或多种含有酐部分和羟基部分的组分。 | ||
| 搜索关键词： | 用来 光刻 一起 使用 涂料 组合 | ||
【主权项】：
1.一种涂敷的基片，该基片包括：包含一种或多种树脂的有机涂料组合物层，所述一种或多种树脂在进行热处理时发生硬化，且不会产生裂解产物。
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