[发明专利]电离规无效
| 申请号： | 200710073541.7 | 申请日： | 2007-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN101266180A | 公开（公告）日： | 2008-09-17 |
| 发明（设计）人： | 杨远超;唐洁;潜力;陈丕瑾;刘亮;范守善 | 申请（专利权）人： | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/30 | 分类号： | G01L21/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北京市海淀区清华*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电离规，其包括阴极，栅极和离子收集极，该栅极位于阴极与离子收集极之间且靠近阴极。阴极，栅极和离子收集极分别相向间隔设置，其中，阴极包括基底及场发射材料薄膜，该场发射材料薄膜是面向离子收集极而设置于基底上。所述的电离规，通过场发射阴极发射电子，具有低功耗、低放气率及良好的线性等优点，适合测量中真空环境。 | ||
| 搜索关键词： | 电离 | ||
【主权项】：
1. 一种电离规，包括阴极，栅极和离子收集极，该栅极位于阴极与离子收集极之间且靠近阴极，阴极，栅极和离子收集极分别相向间隔设置，其特征在于：阴极包括基底及场发射材料薄膜，该场发射材料薄膜是面向离子收集极而设置于基底上。
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