[发明专利]氙气中杂质的色谱分析方法

摘要

本发明公开了一种氙气中所有杂质的色谱分析方法。其解决的问题是对氙气中所有杂质尤其是其中的氟化物能进行分析、分析时间要缩短等。技术措施：本发明的分析步骤包括：首先分析氙气中的H₂、O₂、N₂、Kr、CO、CO₂、CH₄、N₂O杂质步骤：选用氦底气为标准气及PDD色谱仪；设定PDD色谱条件；进行分析；分析氙气中的SF₆杂质步骤：设定色谱条件；在气相色谱分析仪运行到8～10分钟，将氙气导入分子筛色谱柱，在运行到10～12分钟，切断进入分子筛色谱柱的氙气，分析杂质SF₆；分析氙气中的C₂F₆杂质，其步骤：设定色谱条件；待工作条件稳定后进行分析；采用FID色谱分析仪分析杂质：CH₄、C₂H₄、C₂H₆、C₃H₈，其步骤：选用标准气；设定FID色谱仪工作条件；分析杂质CH₄、C₂H₄、C₂H₆、C₃H₈含量。

主权项

1.氙气中杂质的色谱分析方法，其步骤包括：1)、首先分析氙气中的H2、O2、N2、Kr、CO、CO2、CH4、N2O杂质步骤：a)选用氦底气为标准气及PDD色谱仪；b)设定PDD色谱条件：炉温：60～90℃，运行时间：20～15分钟，检测器温度：130～200℃，阀箱温度75～90℃，进入分子筛色谱柱的载气压力：0.23～0.29MPa，进入高分子微球色谱柱的载气压力：0.3～0.38MPa；d)PDD工作条件稳定后进行分析；2)分析氙气中的SF6杂质，其步骤：a)设定色谱条件：炉温：70℃，运行时间：17分钟，检测器温度：130～160℃，阀箱温度75～90℃，进入高分子微球色谱柱的载气压力：0.3～0.38MPa；b)在气相色谱分析仪运行到8～10分钟，将氙气导入分子筛色谱柱，在运行到10～12分钟，切断进入分子筛色谱柱的氙气，分析杂质SF6；3)分析氙气中的C2F6杂质，其步骤：a)设定色谱条件：炉温：30～50℃，运行时间：25～17分钟，检测器温度：130～200℃，阀箱温度75～90℃，进入高分子微球色谱柱的载气压力：0.3～0.38MPa；b)待工作条件稳定后进行分析；4)采用FID色谱分析仪分析杂质：CH4、C2H4、C2H6、C3H8，其步骤：a)选用标准气b)设定FID色谱仪工作条件：炉温：90～120℃，运行时间：8～4分钟，检测器底座温度：190～210℃，Al2O3色谱柱的载气压力：0.16～0.2MPa；空气流量∶氢气∶载气＝1～10∶1∶1；c)分析杂质CH4、C2H4、C2H6、C3H8含量。