[发明专利]研磨盘调节器监控装置及监控方法无效
| 申请号： | 200710047120.7 | 申请日： | 2007-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN101412204A | 公开（公告）日： | 2009-04-22 |
| 发明（设计）人： | 陈肖科;张溢钢 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B49/16 | 分类号： | B24B49/16;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陆 嘉 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种研磨盘调节器监控装置，包括：力矩监控器，接触研磨盘调节器的传动带并监测传动带的力矩；比较器，设置一预定的力矩参数范围，将力矩监控器所测得的传动带的当前力矩与预定的力矩参数范围相比较，当当前力矩超出预定的参数范围之外时，产生一报警信号。本发明还揭示了一种研磨盘调节器监控方法。根据本发明的研磨盘调节器的监控装置及监控方法，能有效监控研磨盘调节器的传动系统的工作状态，在传动系统出现异常时，及时地进行报警，提示工作人员进行修整。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 调节器 监控 装置 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种研磨盘调节器监控装置，其特征在于，包括：力矩监控器，接触所述研磨盘调节器的传动带并监测传动带的力矩；比较器，设置一预定的力矩参数范围，将力矩监控器所测得的传动带的当前力矩与预定的力矩参数范围相比较，当当前力矩超出预定的参数范围之外时，产生一报警信号。
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