[发明专利]微驱动结构的变位增幅装置及其制造方法

摘要

一种微型机电系统技术领域的微驱动结构的变位增幅装置及其制造方法。本发明装置中，静电式梳状微驱动器是组成变位增幅装置的基本部件，它是由相对成叉指状的固定梳齿部分与可动梳齿部分组成，弹簧梁与增幅部分相连组成结构的增幅杠杆，可动梳齿通过细梁与弹簧梁的上下两端分别相连，支点位于弹簧梁的中间。制造方法为：首先预制掩模板，将设计好目的结构图案迁移在SOI晶片表面；其次用感应耦合反应离子刻蚀工艺刻蚀至SiO₂层；然后去除设备层表面的光刻胶；接着利用HF蒸汽刻蚀工艺来刻蚀设备层下边的SiO₂层，并且释放出变位增幅结构的可移动部分；干燥以进一步消除粘连问题。本发明能够根据应用需要精确的放大微位移，而且结构简单。

主权项

1.一种微驱动结构的变位增幅装置，包括静电式梳状微驱动器、可动梳齿、弹簧梁、支点和增幅部分，其特征在于，静电式梳状微驱动器由相对成叉指状的固定梳齿部分与可动梳齿部分组成，弹簧梁与增幅部分相连组成结构的增幅杠杆，可动梳齿部分通过细梁与弹簧梁的上下两端分别相连，支点位于弹簧梁的中间。