[发明专利]悬空结构射频微电感及其制作方法

摘要

一种微电子技术领域的悬空结构射频微电感及其制作方法。所述悬空结构射频微电感中，金属螺旋型线圈与衬底间设有支撑体，支撑体一端与金属螺旋型线圈连接，支撑体另一端与衬底连接，在金属螺旋型线圈与引线连接处设有连接体，连接体两端分别与金属螺旋型线圈和引线相连接。工艺如下：衬底基片清洗处理、甩正胶、曝光与显影、刻蚀，制作双面套刻对准符号；淀积Ti/Cu/Ti底层；Ti氧化；甩正胶、曝光与显影，电镀，去胶；甩SU－8子胶，前烘、曝光、后烘、显影，电镀；溅射Ti/Cu底层；甩SU－8胶，前烘、曝光、后烘、显影，电镀；去除SU－8胶和底层。本发明微电感损耗大大降低，性能远远高于相同参数的硅基平面微电感，Q值大于45。

主权项

1.一种悬空结构射频微电感，包括：双面氧化的衬底(1)、引线(2)、金属螺旋型线圈(3)、平面波导线(6)，其特征在于，还包括：支撑体(4)、连接体(5)，金属螺旋型线圈(3)与衬底(1)之间设置有支撑体(4)，支撑体(4)一端与金属螺旋型线圈(3)连接，支撑体(4)的另一端与衬底(1)连接，在金属螺旋型线圈(3)与引线(2)连接处设置有连接体(5)，连接体(5)两端分别与金属螺旋型线圈(3)和引线(1)相连接。