[发明专利]流体流速稳定装置及研磨液供给装置有效
| 申请号： | 200710044347.6 | 申请日： | 2007-07-27 |
| 公开（公告）号： | CN101352830A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | 李健 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/00 | 分类号： | B24B29/00;B24B37/04;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种流体流速稳定装置，该装置包括缓冲体和壳体，所述缓冲体顶部具有流体入口，所述壳体底部具有流体出口，所述壳体内具有调整体，所述调整体包括上端固定的弹性连接部件，以及与弹性连接部件的下端相连的阀塞，且所述弹性部件以及阀塞与所述壳体之间均具有间隙，所述流体通过流体入口流入所述缓冲体内，再流入调整体及壳体内，并从所述壳体底部的流体出口流出。采用本发明的流体流速稳定装置，可以改善流体流速的稳定性。本发明还公开了一种相应的研磨液供给装置，其在供给泵及研磨装置中安装了流体流速稳定装置，改善了因供给泵的压力变化导致的供给的研磨液量发生波动的问题，提高了研磨的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 流速 稳定 装置 研磨 供给 | ||
【主权项】：
1、一种流体流速稳定装置，其特征在于：包括缓冲体和壳体，所述缓冲体顶部具有流体入口，所述壳体底部具有流体出口，所述壳体内具有调整体，所述调整体包括上端固定的弹性连接部件，以及与弹性连接部件的下端相连的阀塞，且所述弹性部件以及阀塞与所述壳体之间均具有间隙，所述流体通过流体入口流入所述缓冲体内，再流入调整体及壳体内，并从所述壳体底部的流体出口流出。
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