[发明专利]一种改进的真空泵系统有效
| 申请号： | 200710043873.0 | 申请日： | 2007-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN101348898A | 公开（公告）日： | 2009-01-21 |
| 发明（设计）人： | 顾琛;许国青;杨晨;董家伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种改进的真空泵系统，其包括一干燥泵、受该干燥泵控制的第一腔体与第二腔体以及若干常关阀，外部气体通过上述常关阀进入上述腔体，其中，该真空泵系统还包括一第一常开阀与一第二常开阀，该第一常开阀设置于第一腔体与第二腔体的气源之间，该第二常开阀设置于第二腔体与第一腔体的气源之间。与现有技术相比，本发明的方法容易实施，且成本较为低廉，能够有效地防止因人为误操作或软件设置缺陷而引起的气体倒灌现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改进 真空泵 系统 | ||
【主权项】：
1、一种改进的真空泵系统，所述真空泵系统包括：一干燥泵；受所述干燥泵控制的第一腔体与第二腔体；若干常关阀，外部气体通过所述常关阀进入所述腔体；其特征在于，所述真空泵系统还包括一第一常开阀与一第二常开阀，所述第一常开阀设置于所述第一腔体与所述第二腔体的气源之间，所述第二常开阀设置于所述第二腔体与所述第一腔体的气源之间。
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