[发明专利]光斑能量重心矫正模块及其测量方法、装置有效
| 申请号： | 200710042418.9 | 申请日： | 2007-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN101101448A | 公开（公告）日： | 2008-01-09 |
| 发明（设计）人： | 关俊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光斑能量重心矫正模块和使用该光斑能量重心矫正模块的测量方法和装置。本发明的光斑能量重心矫正模块包括将光束分为若干分光束的分束器，倒转分光束的倒像器。利用本发明模块可以消除某些位置测量系统中由于被测对象局部反射率不均等引起探测光斑内部的能量重心的位置变化而带来的测量误差，从而提高该位置测量系统的精度、重复性、对被测对象的适应能力和线性度。 | ||
| 搜索关键词： | 光斑 能量 重心 矫正 模块 及其 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种光斑能量重心矫正模块，包括：分束器，将探测光束分为若干分光束；倒像器，倒转分光束。
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