[发明专利]液态感光抗蚀油墨无效
申请号: | 200710037222.0 | 申请日: | 2007-02-06 |
公开(公告)号: | CN101017325A | 公开(公告)日: | 2007-08-15 |
发明(设计)人: | 潘跃进;吴建华;杨成龙;吴宏耀 | 申请(专利权)人: | 上海中大科技发展有限公司;上海中大印染材料工业有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/027;C09D11/10 |
代理公司: | 上海翼胜专利商标事务所 | 代理人: | 刁文魁;翟羽 |
地址: | 201702上海市青*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种液态感光抗蚀油墨,在油墨中引入了增粘树脂组分,以提高油墨的综合耐酸耐碱性,其主要组分包括:羧基化光固化树脂20~70%;填料3~40%;增粘树脂组分0.2~15%;光引发剂0.5~5%;丙烯酸酯类稀释剂2~20%。本发明具有紫外光成像,可碱水显影,耐酸耐碱耐中性蚀刻液,耐各种电镀液的优点,可制作最小线宽为20微米的高精细图形。 | ||
搜索关键词: | 液态 感光 油墨 | ||
【主权项】:
1、一种液态感光抗蚀油墨,含有感光树脂、感光剂、填料、助剂、颜料和溶剂,其特征在于:在油墨中引入了增粘树脂组分,所述油墨的主要组分为:羧基化光固化树脂20~70%;填料3~40%;增粘树脂0.2~15%;光引发剂0.5~5%;丙烯酸酯类稀释剂2~20%;添加剂3.8~20%。
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