[发明专利]微型钻头表面改性用多元多层硬质薄膜材料及其制备方法

摘要

一种微型钻头表面改性用多元多层硬质薄膜材料及其制备方法。该多元多层硬质薄膜材料依次由基材、金属过渡层Cr、金属氮化物过渡层CrN、硬质耐磨层CrTiAlCN、自润滑层DLC组成。其制备方法采用Cr、Ti、Al金属靶材和Ar、N₂、C₂H₂或CH₄气体，依次轰击清洗微型钻头，沉积Cr层、CrN层、CrTiAlCN层、DLC层。本发明提供的多元多层硬质薄膜材料显微硬度较高，达到HV2500～3500，膜/基结合力≥70N，且易于在100～200℃下制备，可在Φ0.1～2.0mm的整体式或焊接式硬质合金微型钻头表面均匀沉积，能显著提高微型钻头的使用寿命及加工印刷线路板的质量和生产效率。

主权项

1.一种微型钻头表面改性用多元多层硬质薄膜材料，其特征是依次由基材(1)、金属过渡层(2)、金属氮化物过渡层(3)、硬质耐磨层(4)、自润滑层(5)构成，