[发明专利]平板显示器玻璃蚀刻液有效
申请号: | 200710027930.6 | 申请日: | 2007-05-09 |
公开(公告)号: | CN101054265A | 公开(公告)日: | 2007-10-17 |
发明(设计)人: | 钟平洪;蔡汉业;郑资来;潘俊锋 | 申请(专利权)人: | 信利半导体有限公司 |
主分类号: | C03C15/02 | 分类号: | C03C15/02;C03C15/00 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 | 代理人: | 宣国华 |
地址: | 516600广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种平板显示器玻璃蚀刻液,包括氟化氢铵、强酸和纯水,通过浸泡法辅以机械抛动或喷淋的手段,可将FPD玻璃减薄至目标厚度。本发明具有以下的特点:毒性小、无挥发、蚀刻速率快、利用率高、成本低廉、玻璃外观良品率高、后处理成本低、配制工艺较为简单、环境污染小,是未来FPD玻璃薄化的新型工艺用料。 | ||
搜索关键词: | 平板 显示器 玻璃 蚀刻 | ||
【主权项】:
1、一种平板显示器玻璃蚀刻液,其特征在于包含以下按重量份数计的组成成分:氟化氢铵 9~15份 强酸 50~59份 纯水 22~26份。
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