[发明专利]监测探针卡状态的方法有效
| 申请号： | 200710021077.7 | 申请日： | 2007-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN101275994A | 公开（公告）日： | 2008-10-01 |
| 发明（设计）人： | 宋丰;王政烈 | 申请（专利权）人： | 和舰科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00;G01R31/26;G01R27/00 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 | 代理人： | 陈忠辉;姚姣阳 |
| 地址： | 215025江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种监测探针卡状态的方法，其步骤为：①首先在测试键各金属垫间设置阻值相同的电阻阵列，最左边的金属垫与最右边的电阻通过围绕测试键的两条金属线相连；②测金属垫I和金属垫II之间的电阻；③判断测到的电阻是否为正常值：如果是，则继续测金属垫II和金属垫III之间的电阻；如果不是，则报警，表明监测到附加电阻产生或电阻为零，可立即停止探针卡的使用，作适当检查，确保后续半导体测试的准确可靠进行；④重复以上步骤直到所有相邻金属垫之间测到的电阻都为正常值，表明探针卡没有任何问题；⑤进行正常的半导体电性测量。本发明采用新的测试键图形，通过对探针卡实时针测，实现快速监视探针卡状态，从而确保电性监测准确可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 监测 探针 状态 方法 | ||
【主权项】：
1. 监测探针卡状态的方法，其特征在于包括以下步骤——①首先在测试键各金属垫间设置阻值相同的电阻阵列，最左边的金属垫与最右边的电阻通过围绕测试键的两条金属线相连；②测金属垫I和金属垫II之间的电阻；③判断测到的电阻是否为正常值：如果是，则继续测金属垫II和金属垫III之间的电阻；如果不是，则报警，表明监测到附加电阻产生或电阻为零，可立即停止探针卡的使用，作适当检查，确保后续半导体测试的准确可靠进行；④重复以上步骤直到所有相邻金属垫之间测到的电阻都为正常值，表明探针卡没有任何问题；⑤进行正常的半导体电性测量。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于和舰科技（苏州）有限公司，未经和舰科技（苏州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710021077.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
