[发明专利]连熔法生产集成电路用大口径透明石英玻璃管的方法无效
| 申请号： | 200710020783.X | 申请日： | 2007-03-28 |
| 公开（公告）号： | CN101054261A | 公开（公告）日： | 2007-10-17 |
| 发明（设计）人： | 徐胜利 | 申请（专利权）人： | 徐胜利 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03B5/08;C03B15/14 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 | 代理人： | 刘喜莲 |
| 地址： | 222300江苏省东海*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 连熔法生产集成电路用大口径透明石英玻璃管的方法，其特征在于，将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制而成；原料高纯石英砂在投入连熔炉后、加热熔融前，对高纯石英砂进行120－180分钟的预热处理，将高纯石英砂预热至550－650℃，再进行加热熔融；所述的连熔炉钨钼坩埚上部为预热段，下部为熔融段，预热处理在连熔炉钨钼坩埚的预热段内进行；所述钨钼坩埚的直径为330－370mm，高度为1450－1500mm；连熔炉内的熔融温度为2050－2150℃；所述的成形器的直径为190－210mm；连熔炉的料台直径为210－215mm；熔融段通入连熔炉的电加热钼电极的电流为210－220A，电压为19－20V。该方法提高了产品质量，可生产出大规格石英玻璃管。 | ||
| 搜索关键词： | 连熔法 生产 集成电路 口径 透明 石英 玻璃管 方法 | ||
【主权项】：
1、一种连熔法生产集成电路用大口径透明石英玻璃管的方法，其特征在于，将石英玻璃原料高纯石英砂投入连熔炉内，通过电加热熔融，熔融后的石英玻璃液经成形器、料台及拉管机拉制成大口径透明石英玻璃管；原料高纯石英砂在投入连熔炉后、加热熔融前，对高纯石英砂进行120-180分钟的预热处理，将高纯石英砂预热至550-650℃，再进行加热熔融；所述的连熔炉钨钼坩锅上部为预热段，下部为熔融段，预热处理在连熔炉钨钼坩锅的预热段内进行；所述钨钼坩锅的直径为330-370mm，高度为1450-1500mm；连熔炉内的熔融温度为2050-2150℃；所述的成形器的直径为190-210mm；连熔炉的料台直径为210-215mm；熔融段通入连熔炉的电加热钼电极的电流为210-220A，电压为19-20V。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于徐胜利，未经徐胜利许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200710020783.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：驱动装置及具有该驱动装置的成像设备
- 下一篇：具有改善的强度的管连接装置
