[发明专利]一种平面往复运动喷射沉积多层复合材料的制备方法和设备

摘要

一种平面往复运动喷射沉积多层复合材料的制备方法，在坩埚内进行惰性气体加压使金属熔液经过坩埚底部的孔隙喷射到沉积基板上，基板在水平面上做往复运动，同时还可以在垂直地面方向上下运动。制备的设备包括：真空炉体和处于真空炉体内的沉积基板升降机构、沉积基板、低温惰性气体强制冷却装置、惰性气体喷射加压装置、坩埚喷枪组、感应加热装置、水平往复运动导板，处于真空炉体上的抽真空装置、排气阀、保护气体进气阀。本发明可以将多种金属及合金，通过熔炼，喷射制备成大块层状复合材料，通过强制冷却，可以获得大块沉积多层堆积的非晶、纳米晶金属材料。

主权项

1、一种平面往复运动喷射沉积多层复合材料的制备方法，其特征在于，坩埚组内放入待沉积的不同种类的金属原料，对炉体进行抽真空到10-2～10-5Pa，然后充入熔炼保护惰性气体到0.01～1大气压；利用感应加热将金属原料熔化，待合金溶液均匀后，在坩埚内进行惰性气体加压使金属熔液经过坩埚底部的孔隙喷射到沉积基板上，同时基板做水平往复运动，金属熔液将在基板上凝固成具有层状结构的非晶或纳米晶的薄带，每层为不同种类的金属层，从而获得具有非晶、纳米晶、微米晶等结构的多层复合材料和梯度材料。