[发明专利]电子射线源装置有效
申请号: | 200710001275.7 | 申请日: | 2007-01-11 |
公开(公告)号: | CN101026079A | 公开(公告)日: | 2007-08-29 |
发明(设计)人: | 川名修一 | 申请(专利权)人: | 株式会社岛津制作所 |
主分类号: | H01J49/10 | 分类号: | H01J49/10;G01N27/64;G01N30/00 |
代理公司: | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 寿宁;张华辉 |
地址: | 日本京都府京都*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明可以准确地预测·判定电子射线源装置热丝的断线·变形,防止先前的装置中因更换仍可使用的热丝而导致的不必要的资源消耗及更换费用的产生,并且防止因突然断线或变形产生时的后追处理而导致的工序混乱,从而减少测定时间、保养管理工时。通过热丝电流测定电路来一直测定热丝电流,并通过运算电路来一直运算点灯时间为零时的热丝电流与当前的热丝电流之比,当该比低于预定的界限比时,判定热丝到达寿命时间,而且,当该比超过预定的上限比时,判定为热丝异常,并在显示器中显示恰当的信息。 | ||
搜索关键词: | 电子 射线 装置 | ||
【主权项】:
1.一种电子射线源装置,其包括产生由热电子构成的放射电流的热丝及收集上述放射电流的集电子电极,且一直控制热丝电流以获得规定的放射电流,此电子射线源装置的特征在于包括一直测定热丝电流,并且侦测并显示下述状况的机构,即,提供规定的放射电流的热丝电流相对于使用最初的提供规定的放射电流的热丝电流之比降低至预定的临限值或预定的临限值以下。
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