[发明专利]溅镀靶材的制造方法有效
| 申请号： | 200710001003.7 | 申请日： | 2007-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN101224496A | 公开（公告）日： | 2008-07-23 |
| 发明（设计）人： | 李仲仁;赵勤孝 | 申请（专利权）人： | 光洋应用材料科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B22F3/16 | 分类号： | B22F3/16;C23C14/34 |
| 代理公司： | 天津三元专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 胡畹华 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是一种溅镀靶材的制造方法，其是将靶材原料粉末置入模具中，以较低温低压的热压方式进行烧结，然后再将此初胚进行热均压处理；借由低温低压的热压方式让靶材初坯不具开放性孔洞(open pore)，而再经由热均压的方式即可将靶材密度提升至96％以上，因此不需经过成本较高的封罐过程，且低温低压的热压制程易于实施，故此制程采用较低成本的方式即可获得性质良好的靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 溅镀靶材 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种溅镀靶材的制造方法，其特征在于，包括以下步骤：将靶材原料粉末置入模具中，在温度范围于850℃至1400℃之间，而压力范围于3500～8000磅/平方英寸(psi)之间的情形下，进行120～180分钟的热压方式进行烧结以形成初胚；将上述的初胚在温度与压力分别为800～1100℃、22000～26000磅/平方英寸的情况下进行150～180分钟的热均压，以得到溅镀靶材。
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