[发明专利]一种光阻涂布和显影装置中的管路自动清洗装置有效
| 申请号： | 200680055180.7 | 申请日： | 2006-08-03 |
| 公开（公告）号： | CN101479054A | 公开（公告）日： | 2009-07-08 |
| 发明（设计）人： | 黄伟;薛伟;陈耀;胡珂 | 申请（专利权）人： | 和舰科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/027 | 分类号： | B08B9/027;C23C16/00 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人： | 包红健 |
| 地址： | 中国江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种光阻涂布和显影装置中的管路自动清洗装置，该光阻涂布和显影装置包括鼓泡罐(15)，鼓泡罐输出管路，压力表(13)，流量计(11)、(12)，HMDS-空气供应、排放的气动开关阀(14)和HMDS-空气分配管路的气动开关阀(21)，管路自动清洗装置包括两位三通气动换向阀(52)，同上述HMDS-空气供应、排放的气动开关阀(14)连接，设置在压力表(13)与流量计(11)、流量计(12)之间的氮管路，设置在鼓泡罐(15)的出口处的氮管路。利用本发明所述装置可以免去对管路压入清洁剂的麻烦，又可以在不改变软件设定的状态下，实现管路的自动清洗，还可以防止己二胺(HMDA)泄漏，或者盖子没有安装正确造成的真空异常或者晶片刮伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光阻涂布 显影 装置 中的 管路 自动 清洗 | ||
【主权项】：
PCT国内申请，权利要求书已公开。
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