[发明专利]灰尘除去装置有效
| 申请号： | 200680050456.2 | 申请日： | 2006-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN101356017A | 公开（公告）日： | 2009-01-28 |
| 发明（设计）人： | 中田厚纪;大山纯志 | 申请（专利权）人： | 尼柯斯有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/02 | 分类号： | B08B1/02;B08B1/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 章社杲;吴贵明 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明公开了一种灰尘除去装置，其包括：旋转刷，用于除去附于工件的灰尘；工件搬送单元，用于沿着与旋转刷的轴方向交叉的方向搬送工件；刷子旋转单元，使旋转刷以其轴心为中心旋转；以及刷子进退单元，使旋转刷沿其轴方向进退。灰尘除去装置还包括作为刷子旋转单元和刷子进退单元共同的驱动源的电动机。刷子旋转单元具有将电动机的动力传递给旋转刷并作为旋转刷的旋转运动的动力传递单元，刷子进退单元具有将电动机的动力转换为旋转刷的进退运动并传递给旋转刷的动力传递单元。 | ||
| 搜索关键词： | 灰尘 除去 装置 | ||
【主权项】：
1.一种灰尘除去装置，包括：旋转刷，用于除去附于工件的灰尘；工件搬送单元，用于沿着与所述旋转刷的轴方向交叉的方向搬送所述工件；刷子旋转单元，与所述工件搬送单元同步，使所述旋转刷以其轴心为中心旋转；刷子进退单元，与所述工件搬送单元同步，使所述旋转刷沿其轴方向进退；以及电动机，作为所述刷子旋转单元和所述刷子进退单元共同的驱动源，其中，所述刷子旋转单元具有将所述电动机的动力传递给所述旋转刷作为所述旋转刷的旋转运动的动力传递单元，所述刷子进退单元具有将所述电动机的动力转换为所述旋转刷的进退运动并传递给所述旋转刷的动力传递单元。
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