[发明专利]间隔壁、滤色片、有机EL的制造方法无效
申请号: | 200680044240.5 | 申请日: | 2006-11-28 |
公开(公告)号: | CN101317132A | 公开(公告)日: | 2008-12-03 |
发明(设计)人: | 石関健二;高桥秀幸 | 申请(专利权)人: | 旭硝子株式会社 |
主分类号: | G03F7/038 | 分类号: | G03F7/038;G03F7/40;B41M5/00;G02B5/20 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 刘多益 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供即使曝光工序的曝光量低,墨层的膜厚均匀性也良好的间隔壁的制造方法。间隔壁的制造方法的特征在于,依次具备将负型感光性组合物涂布于基材的工序、干燥工序、曝光工序、显影工序,然后具备后曝光工序,所述负型感光性组合物包含含氟聚合物(A),该含氟聚合物包含具有氟代烷基的侧链和具有乙烯性双键的侧链;其中,所述氟代烷基可以在碳原子间具有醚性氧原子。 | ||
搜索关键词: | 间隔 滤色片 有机 el 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.间隔壁的制造方法,其特征在于,依次具备将负型感光性组合物涂布于基材的工序、干燥工序、曝光工序、显影工序,然后具备后曝光工序,所述负型感光性组合物包含含氟聚合物(A),该含氟聚合物包含具有氟代烷基的侧链和具有乙烯性双键的侧链;其中,所述氟代烷基可以在碳原子间具有醚性氧原子。
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