[发明专利]射频功率传递系统有效
| 申请号： | 200680040216.4 | 申请日： | 2006-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN101297480A | 公开（公告）日： | 2008-10-29 |
| 发明（设计）人： | S·P·纳加拉卡迪;M·基西内夫斯基;A·沙基;T·E·卡尔外迪斯;W·S·米奇尼;D·古德曼;W·M·霍尔比;J·A·史密斯 | 申请（专利权）人： | MKS仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | H03H7/40 | 分类号： | H03H7/40 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 钱慰民 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了向动态负载(260)传递功率的系统(200)和方法。该系统包括：电源(210)，用于提供具有基本上恒定的功率开环响应的DC功率；功率放大器(220)，用于将DC功率转换成RF功率；传感器(240)，用于测量与RF功率相关的电压、电流以及电压和电流矢量之间的相角；电可控阻抗匹配系统(250，252)，用于将功率放大器的阻抗修改成至少基本上匹配的动态负载(260)阻抗；以及控制器(230)，用于控制电可控阻抗匹配系统(200)。系统(200)还包括：传感器校准测量模块，用于确定由功率放大器所传递的功率；电子匹配系统校准模块(252)，用于确定传递给动态负载(260)的功率；以及功率耗散模块，用于计算在电可控阻抗匹配系统中所耗散的功率。 | ||
| 搜索关键词： | 射频 功率 传递 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于向动态负载传递功率的系统，包括：电源，用于提供具有基本上恒定的功率开环响应的DC功率；功率放大器，用于将DC功率转换成RF功率；传感器，用于测量与RF功率相关的电压、电流以及电压和电流矢量之间的相角；电可控阻抗匹配系统，用于修改功率放大器的阻抗以至少基本上匹配于动态负载的阻抗；以及控制器，用于控制所述电可控阻抗匹配系统。
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