[发明专利]根据光电导通的晶体管阵列电子测试

摘要

本发明提供一种用以测试一基板上的微电子组件的装置，包含：一扫描器，根据依序逐一扫描方式，利用一光束扫描设置在一平面显示器基板上的多个薄膜晶体管上，并根据依序逐一感应方式，在该多个薄膜晶体管中感应出一光电导通回应；一电流感应电路，是与该扫描器同步运作，用以测量关联于一晶体管的该光电导通回应的感应输出，并产生光电导通回应的输出值，该光电导通响应的输出值代表在该多个薄膜晶体管中依序逐一由该光束感应的一光电导通回应；以及一侦错装置，用以分析该电气响应输出值并纪录每一晶体管的特征。

主权项

1. 一种在一基板上用以检查微电子组件的方法，其特征在于，包含下列步骤：施加一控制信号至多个微电子组件，位于所述基板上，以周期性地让所述多个微电子组件进入一关闭状态；利用至少一光束扫描所述多个微电子组件，以照射所述多个微电子组件中选定的至少一个微电子组件，并引发一电气响应，其中所述扫描步骤是与所述施加一控制信号步骤同步；以及在扫描时，测量由至少一微电子组件的一电气响应，用以侦测一电气特征。