[发明专利]用于确定两个基本平面元件之间的相对位置的装置无效
| 申请号： | 200680033039.7 | 申请日： | 2006-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN101263433A | 公开（公告）日： | 2008-09-10 |
| 发明（设计）人： | R·库尔茨;M·坎农;W·胡伯切;H·格鲁姆 | 申请（专利权）人： | 尔萨有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;H05K3/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 朱立鸣 |
| 地址： | 德国韦*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于确定两个基本平面元件之间在X－Y平面中的相对位置的装置，这两个基本平面元件沿Z方向隔开且基本彼此叠置，其中，所述装置具有至少一个光学传感器，该光学传感器设置在元件之间，且能够传感元件的相互面对的表面的至少两个点，所述装置还具有计算单元，在该计算单元中，可以相对于在X－Y平面中的相对位置来计算图像点。在这种情况下，光学传感器具有至少一个线传感器，该线传感器可以相对于两个元件移位，以使元件的相互面对的表面可以扫描器的方式至少局部地被光学扫描。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 确定 两个 基本 平面 元件 之间 相对 位置 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于确定两个基本平面元件之间在X-Y平面中的相对位置的装置，所述两个基本平面元件沿Z方向隔开且基本彼此叠置，其中，所述装置具有至少一个光学传感器，所述光学传感器设置在所述元件之间，且能够传感所述元件的相互面对的表面的至少两个点，所述装置还具有计算单元，在该计算单元中，可以相对于在所述X-Y平面中的相对位置来计算图像点，其特征在于，所述光学传感器具有至少一个线传感器(7、8)，所述线传感器可以相对于所述两个元件(2、3)移位，以使所述元件(2、3)的所述相互面对的表面可以扫描器的方式至少局部地被光学扫描。
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