[发明专利]激光微加工时所形成的个别通孔的能量监视与控制

摘要

本发明揭示一种方法与系统，用以提高由激光微加工系统所达成的结果的品质。和用于控制激光微加工制程(152)的参数相关的资料(158、178)会在该微加工制程期间被记录，由和用来微加工的参数相关联的特征形状来辨识，并且被储存于该系统中。该被储存的资料可在该微加工制程期间被取出以便进行即时控制，或是在进行工件(174)处理之后被取出以便进行统计制程控制。

主权项

1. 一种用以提供有关于利用一可程式控制器所控制的激光光束脉冲而被微加工于一工件之中的特征形状的信息的方法，该等特征形状以一或多项规格为特征，该工件以一或多层为特征，每一层均以一材料类型与厚度为特征，该等激光光束脉冲以一或多项参数为特征，而该控制器则可运作用以被连接至一处理器，以便处理资料，该资料包含该等激光光束脉冲参数中的一或多项参数、特征形状规格或是工件特征，其特征在于该方法包括：针对一或多个微加工特征形状来记录用于微加工该特征形状的该等激光光束脉冲参数中的一或多项参数；辨识该等被记录的参数，以便让该等被记录的参数和利用该些参数被微加工的特殊特征形状中的该等特征形状规格产生相关联；储存该等经辨识的参数；取出该等已储存的经辨识的参数；以及协同该控制器来处理该等被取出的参数，以达到该等被微加工特征形状的一致品质的目的。